不发生战少发生污染物

2. 为确保干净室内所必需的干净度,各个专业均要求不引入或少引入污染物,不发生和少发生污染物,不畅留或少畅留污染物。

4. 干净厂房设想应确保平安出产和环保要求。出产过程中发生出一些废水、废气,同时因为微电子工业的出产特点,各专业设想必需满脚消防防火要求。必需颠末特殊处置达到国度排放尺度后才能排放。

1. 要按照出产产物的特点,确定手艺要求。如空气干净品级、防微振、高纯物质等要求是分歧的,应按具体环境确定。

微电子工业干净厂房设想是一项分析手艺,它取其他工业厂房设想有雷同之处,但 也有一些特殊之处。次要特点如下:

5. 微电子工业成长日新月异,干净厂房本身是一个手艺稠密、资金稠密的产品,投资很是庞大,这就要求干净厂房设想要考虑必然的矫捷性,以便产物换代时便利地进行手艺。目前 SMIF 隔离手艺的采用,就是一种能顺应手艺成长的矫捷的设想。前往搜狐,查看更多